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气体纯化装置
氩气净化装置
1.1 纯化方法

第一种:直接脱氧法。就是使用活性金属、催化剂与氩气中的氧气进行反应,消化掉氩气中的氧气,从而达到脱氧的目的,经过分子筛吸收掉氩气中的水份,使氩气的含水量小于1ppm。

 

第二种:是采用吸气剂。在一定温度下,吸气剂可吸收氮、氢、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等气体经吸收处理后,氩气的纯度可达到6个九,这种工艺生产出来的高纯气体适用于各类仪器仪表适用要求。

1.2 技术参数

1. 处理气量:?5~1500 Nm3/h(可根据用户需要订做非标设备)
2. 原料气要求:?液氩或者较好的管道氩均可使用
3. 工作压力0.2-1.6MPa可调
4. (氩气净化器)净化效能:纯化后符合并高于GB/T4842-2006的99.9996%要求

1.3 设备特点

1. 净化剂则采用了世界最先进的净化材料。其特点有吸附深度好,吸收杂质气体量大的特点,最高纯度可达99.9999%以上;
2. 净化器采用特殊结构和装料方法,流速设计合理,气流分布均匀;
3. 全BA级内外精拉管管路。采用进口卡套式球阀。杜绝了气体流经管路的再次污染,一次安装终身使用,真正做到零泄漏及无故障运行。
4. 双式结构,开机后一组工作,另一组再生、备用,而且RZ-YA-C系列半自动纯化装置工作和再生都自动进行,故能够连续供气,一台能顶单式的两台使用。

1.4 应用领域

该系列氩气纯化装置用于高纯气体充装站、焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气。

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